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本发明公开了大型空间环境模拟器清洁真空抽气系统及抽气方法，包括粗抽系统、磁悬浮分子泵系统和低温泵系统。其中，粗抽系统包括若干套并联的粗抽机组，每套粗抽机组由应用于半导体行业的无油干泵罗茨泵机组构成，通过PLC及上位计算机对真空抽气全过程进行...
该专利属于北京卫星环境工程研究所所有，仅供学习研究参考，未经过北京卫星环境工程研究所授权不得商用。

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