温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种二自由度平动并联高带宽微动平台,基于压电陶瓷驱动器和柔性铰链的微动平台，包括：压电陶瓷驱动器、微动平台主体、传感器夹具、非接触式电容传感器，微动平台主体包括驱动支链及其对应的辅助支链、工作平台以及固定机架，其中，两个驱动支链与...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。