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一种利用电磁法生产超纯多晶硅锭的装置。装置包括外壳，与外壳相连接的是料斗及启动加热硅的装置。在外壳内，由感应线圈包围的熔炼坩埚，高频感应线圈包围的圆柱形套筒，其末端分为多个支路，冷却坩埚以及设置在冷却坩埚下面的控制冷却隔离室。其特征在于高频...
该专利属于北京科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京科技大学授权不得商用。

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