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一种适用于通过铸锭方法生产单晶硅锭的铸锭炉技术
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文档序号:8398313
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本实用新型公开了一种适用于通过铸锭方法生产单晶硅锭的铸锭炉,包括炉体、所述炉体内的硅熔融锅,所述炉体上方设置旋转丝杆伸入所述硅熔融锅内,所述旋转丝杆底部安装仔晶,所述旋转丝杆上设置距离传感装置,传感所述旋转丝杆底部到所述硅熔融锅内熔融硅液面...
该专利属于甘大源所有,仅供学习研究参考,未经过甘大源授权不得商用。
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