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本实用新型公开一种薄膜卡盘，包括安装座和弹性卡爪盘，所述安装座为一回转体结构，所述安装座中心设置有轴孔，所述安装座一端设置有弹性卡爪盘，所述弹性卡爪盘成空心圆锥台状结构与安装座同轴布置，在所述弹性卡爪盘上沿其锥面设置有若干缺口，所述安装座与...
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