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本实用新型公开了一种高精度卡盘软爪，包括软爪本体，所述软爪本体上表面设有条纹形凸块，所述软爪本体上表面还设有第一凹槽，位于第一凹槽内的软爪本体上表面设有第一通孔以及第二通孔，所述软爪本体的侧边还设有第二凹槽以及第三凹槽，所述第二凹槽以及第三...
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