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一种在一个或多个写入机中在一系列写循环中图案化工件（2404）的多个层（L1、L2、L3、L4）的方法，所述工件被设计成具有数量为N的层（L1、L2、L3、L4），且所述工件的层具有图案位置的一个或多个边界条件，该方法包括下列步骤：确定层1...
该专利属于密克罗尼克麦达塔公司所有，仅供学习研究参考，未经过密克罗尼克麦达塔公司授权不得商用。

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