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显微镜光学系统以及显微镜系统技术方案
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文档序号:8390804
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提供一种使得衍射光学元件的无用级数的光所产生的耀斑少的显微镜光学系统。显微镜光学系统(MS)具有:物镜(OL),该物镜具有衍射光学元件(GD)并将来自物体的光会聚而成为大致平行光束;和第二物镜(IL),将来自该物镜(OL)的大致平行光束会聚...
该专利属于株式会社尼康所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社尼康授权不得商用。
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