下载在液体药剂输送系统中使用的传感器的技术资料

文档序号:8389902

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一种在液体药剂输送系统中使用的传感器设备(6),具有:微流体室(1),其包括刚性底基板(11)和盖(12);以及光学检测系统(5),其被布置为朝向盖膜(12)发射一个或多个光束(53a),并观察从盖膜(12)反射的一个或多个光束(53b)。...
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