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探针形状检测装置具有：磁场检测部，其检测由挠性的探针内的电磁线圈产生的磁场；坐标运算部，其根据检测到的磁场计算电磁线圈的三维坐标；移动速度计算部，其根据计算出的三维坐标计算电磁线圈的移动速度；移动平均坐标计算部，其计算电磁线圈的移动平均坐标...
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