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用于传感器面板的微结构基板制造技术
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下载用于传感器面板的微结构基板的技术资料
文档序号:8386965
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本发明揭示一种用于传感器面板的微结构基板,其包含:一可挠曲式膜,具有一厚度,该可挠曲式膜具有一第一表面及一第二表面,该第二表面与该第一表面间隔该薄膜的该厚度;一微结构阵列,位于该可挠曲式膜中,各该微结构包含一腔室,该腔室自该第一表面形成于该...
该专利属于陈世忠所有,仅供学习研究参考,未经过陈世忠授权不得商用。
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