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文档序号:8386193
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本发明涉及一种检测器设备,检测器设备被配备以接收光和产生电信号,检测器设备具有包括光入射侧的光传感器,且具有冷却部件。根据本发明,可以提供:冷却部件在光传感器的光入射侧与光传感器直接接触和/或与承载光传感器的衬底直接接触。...
该专利属于莱卡微系统CMS有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过莱卡微系统CMS有限责任公司授权不得商用。
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