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温控装置及其温控方法制造方法及图纸
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文档序号:8385995
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本发明提出一种温控装置和温控方法,用于控制流经外部装置的循环液的温度。温控装置包括制冷装置、循环液回路单元和控制器。制冷装置包括蒸发装置和冷凝装置。循环液回路单元包括电动三通阀和温度传感器。循环液通过电动三通阀进入蒸发装置和冷凝装置。当温度...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。
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