下载用于微型阀的制造方法的技术资料

文档序号:8385583

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本发明涉及一种用于微型阀的制造方法,其中每个微型阀由多个结构元件以堆叠结构方式组装成,所述结构元件包括至少两个壳体部分、夹紧在两个所述壳体部分之间的膜片和执行器,并且多个相同的结构元件设置成分别在一个平面中、并排地在自己的支承板上定位,参见...
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