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本发明公开了一种用于微光机电系统真空封装的管壳及其制作方法，底座内有芯片固定槽，封帽密封固连于底座一端外侧的环状外扩止挡，滤光片密封覆盖于底座另一端的开口外侧，透光片密封固定覆盖于封帽轴向端面的透光窗口外侧，吸气剂固定装置固设于封帽和底座内...
该专利属于昆山光微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山光微电子有限公司授权不得商用。

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