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各种实施例涉及一种MEMS压力传感器及其制造方法。该MEMS压力传感器包括：下电极；第一绝缘层，在所述下电极上方；第二绝缘层，在所述第一绝缘层上方，在所述第一绝缘层和第二绝缘层之间形成腔体；上电极，在所述第二绝缘层上方，其中，所述腔体的一部...
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