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螺旋排布式抛光磨头制造技术
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文档序号:8381898
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本发明公开了一种螺旋排布式抛光磨头。其包括主轴、磨头盖、传动齿轮组、磨头旋转安装座及若干组磨块摆动机构,所述磨块摆动机构铰接安装在磨头旋转安装座底面,且各组磨块摆动机构呈弦向螺旋式排布;所述磨块摆动机构连接一驱动其来回转摆的曲柄摇杆机构,该...
该专利属于广东科达机电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东科达机电股份有限公司授权不得商用。
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