下载一种用于硅铸锭炉的固液界面测定装置的技术资料

文档序号:8374304

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本实用新型公开了一种用于硅铸锭炉的固液界面测定装置,包括:用于与硅铸锭炉中的固态多晶硅接触的石英棒;内部设有活塞的活塞缸,活塞的下侧连接第一活塞杆,第一活塞杆与石英棒连接,活塞缸内设置压簧;用于驱动石英棒上下直线运动的驱动装置;用于感应石英...
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