下载一种多晶硅用石英陶瓷坩埚的技术资料

文档序号:8374302

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本实用新型公开了一种多晶硅用石英陶瓷坩埚,其特征在于,所述石英陶瓷坩埚为包括底面和四个侧壁的立体结构,上部开放,并且所述底面为正方形。所述石英陶瓷坩埚的底面边长1030~1050mm,侧壁高400~600mm,壁厚18~30mm,外底角为倒...
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