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本实用新型涉及一种具有多通道结构的电镀设备，包括一外子槽，外子槽内部装置内子槽，内子槽内设有多个开口槽，两开口槽之间设有分流储槽，于分流储槽上开有散流口；在外子槽的下端设有注入管，注入管通过三通管形成三路分流并与分流储槽相连通，在注入管上设...
该专利属于上海华友金镀微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华友金镀微电子有限公司授权不得商用。

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