下载一种磁控溅射镀膜线上的驱动装置的技术资料

文档序号:8374257

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本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜线上的驱动装置,包括平台(1)和转动轴(2),转动轴(2)设置在平台(1)上,转动轴(2)上设有第一链轮(3),平台(1)的侧面设有驱动转动轴(2)转动的电机(4),电机(4)通过底座(5)固定在平台1上,电...
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