温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种薄膜式卡盘，包括：卡盘基座；固定于卡盘基座的平板状隔膜；与隔膜分体制造且与之相互固定的卡爪；以及固定于隔膜的拉杆。其中，隔膜通过作用于拉杆的、对拉杆的行程进行控制的控制装置来变形。隔膜在拉杆和锁紧螺母的作用下产生变形，使...
该专利属于上海萨克斯动力总成部件系统有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海萨克斯动力总成部件系统有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。