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本公开提供了用于制作和使用陀螺仪的系统、方法和装置，包括编码在计算机存储介质上的计算机程序。一些陀螺仪包括驱动框架、中心锚以及部署在中心锚的相对侧上的多个驱动梁。驱动梁可将驱动框架连接至中心锚。驱动梁可包括压电层，并且可配置成使驱动框架在这...
该专利属于高通MEMS科技公司所有，仅供学习研究参考，未经过高通MEMS科技公司授权不得商用。

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