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尺蠖式多自由度压电驱动装置制造方法及图纸
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文档序号:8367747
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本发明涉及一种尺蠖式多自由度压电驱动装置,属于精密加工领域。其转子单元包括沿转子和内嵌转子的B型压电叠堆,可实现转子的步进直线运动;上层钳固单元由A型压电叠堆、A型楔形块、B型楔形块和开有三爪式自定心柔性铰链的定子上层基板组成,压电叠堆在通...
该专利属于吉林大学所有,仅供学习研究参考,未经过吉林大学授权不得商用。
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