下载一种实现晶体硅电池组件电位诱发衰减合格的工艺的技术资料

文档序号:8367427

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本发明公开了一种实现晶体硅电池组件电位诱发衰减合格的工艺,通过在晶体硅基体正面形成叠层复合膜的方式,实现晶体硅电池组件电位诱发衰减合格,具体步骤是:选取经过前处理的晶体硅基体,先采用管式PECVD工艺先在晶体硅基体正面沉积形成第一介质膜Si...
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