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本发明提供一种探针保护系统，该系统包括氮气产生装置、氮气输送管道及测试机台阵列，所述氮气产生装置用于产生氮气；所述氮气输送管道分别与所述氮气产生装置及所述测试机台阵列连接；所述测试机台阵列由N个并联的测试机台组成，N为正整数，且N≥1；所述...
该专利属于成都市中州半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都市中州半导体科技有限公司授权不得商用。

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