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一种分束光栅子光束阵列位相和光强的测量方法，其特点在于激光器发出的入射激光经第一分束镜分成两路：一路透射光经第一准直扩束器进行准直扩束成平面波后，垂直照射位于傅里叶透镜前焦面的分束光栅，经第一反射镜反射后，再经第二分光镜反射，最后进入CCD...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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