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本发明公开了一种精密定位隔振平台，它包括定位隔振装置和主动控制器，两者之间通过电气连接，主动控制器对定位隔振装置进行位置控制和振动控制。定位隔振装置包括分布在正三角形顶点的三支撑腿及其共同支撑的一块负载平板。每一个支撑腿中有一个螺旋弹簧作为...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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