下载一种应用于透明材质的分层氮化硅SiNxOy成膜方法的技术资料

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本发明涉及一种应用于透明玻璃的分层氮化硅SiNxOy成膜方法,其特征在于,以透明材料为基板材料,采用沉积薄膜的方法在基板材料表面沉积两层SiO2膜层和一层SiNxOy膜层;通过SiNxOy层和SiO2层光学膜系配比设计,经分层氮化硅SiNx...
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