专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
天津市中环高科技有限公司
>
一种应用于透明材质的分层氮化硅SiNxOy成膜方法技术
>技术资料下载
下载一种应用于透明材质的分层氮化硅SiNxOy成膜方法的技术资料
文档序号:8363854
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种应用于透明玻璃的分层氮化硅SiNxOy成膜方法,其特征在于,以透明材料为基板材料,采用沉积薄膜的方法在基板材料表面沉积两层SiO2膜层和一层SiNxOy膜层;通过SiNxOy层和SiO2层光学膜系配比设计,经分层氮化硅SiNx...
该专利属于天津市中环高科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津市中环高科技有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。