下载光声测量装置的技术资料

文档序号:8362039

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种能够以高精度测量吸收体的位置和尺寸的测量装置,该测量装置包括:用于发射脉冲光束的光源单元;用于将由光源单元发射的脉冲光束引导到检查对象的内部的照明光学单元;和用于检测由脉冲光束产生的光声信号的声学信号检测单元,其中,照明光学单元包含被相...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。