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光声测量装置制造方法及图纸
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下载光声测量装置的技术资料
文档序号:8362039
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一种能够以高精度测量吸收体的位置和尺寸的测量装置,该测量装置包括:用于发射脉冲光束的光源单元;用于将由光源单元发射的脉冲光束引导到检查对象的内部的照明光学单元;和用于检测由脉冲光束产生的光声信号的声学信号检测单元,其中,照明光学单元包含被相...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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