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本实用新型涉及一种硅片自动上料机，包括：支架；用于盛放硅片的承载盒，设于支架的端部；用于驱动承载盒上下运动的提升装置，设于承载盒下方；用于输送硅片的输送装置，设于支架中部；用于将硅片从承载盒搬运至输送装置的吸附搬运装置，设于支架上并位于承载...
该专利属于库特勒自动化系统（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过库特勒自动化系统（苏州）有限公司授权不得商用。

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