下载带真空度在线监测的固封极柱的技术资料

文档序号:8360110

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本实用新型公开了一种带真空度在线监测的固封极柱,包括真空灭弧室、离子柱和真空传感器,真空传感器设于真空灭弧室的顶部,离子柱设于真空灭弧室的侧壁,所述离子柱的一端与地相连,另一端与真空传感器的上端相连,所述真空传感器的工作腔外设有永磁铁,所述...
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