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一种基于声光调制的微悬臂梁阵列生化传感装置，包括激光器、声光调制器、生化反应池、微梁阵列、光电位置敏感探测器PSD和监测单元；声光调制器在激光器发出的准直激光束的光路上；微梁阵列在生化反应池内，微梁阵列在调整声光调制器的出射光的光路上；光电...
该专利属于南京中迅微传感技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京中迅微传感技术有限公司授权不得商用。

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