下载对柱面进行干涉检测的镜头的技术资料

文档序号:8358813

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本实用新型公开了一种对柱面进行干涉检测的镜头,包括标准平晶,标准平晶后设置平凸柱面镜;平凸柱面镜的柱面在前,平面在后,且柱面为环形面。本实用新型结构合理,利用单一的环形面柱面镜作为准直物镜产生柱面光,降低了柱面镜组元件的个数,大幅降低了柱面...
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