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本实用新型涉及一种直拉法制备单晶硅所使用的石墨加热器，包括形成加热系统的加热器本体（1）、设置在加热器本体（1）侧壁的侧壁发热体（2）、以及设置在加热器本体（1）底部用于支撑石墨坩埚的底部支撑脚（3），所述的侧壁发热体（2）向下和向内延伸形...该专利属于上海杰姆斯电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海杰姆斯电子材料有限公司授权不得商用。
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