下载带上延套的多晶坩埚的技术资料

文档序号:8355464

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本实用新型涉及一种带上延套的多晶坩埚,属于多晶硅生产制造设备技术领域,其特征在于:它包括坩埚本体(1),所述坩埚本体(1)的侧壁的顶部套有一圈上延套(2),所述上延套(2)的高度为60mm~120mm。本实用新型带上延套的多晶坩埚在坩埚的侧...
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