下载多通道等离子体光源的技术资料

文档序号:8348913

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供的多通道等离子体光源,包括上位机、参数控制单元、稳压单元、多通道能量产生单元、点火单元和激发室。上位机通过以太网与参数控制单元相连,参数控制单元与多通道能量产生单元和点火单元分别相连,稳压单元通过多通道能量产生单元依次接至点火单元...
该专利属于山东东仪光电仪器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东东仪光电仪器有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。