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多通道等离子体光源制造技术
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文档序号:8348913
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本发明提供的多通道等离子体光源,包括上位机、参数控制单元、稳压单元、多通道能量产生单元、点火单元和激发室。上位机通过以太网与参数控制单元相连,参数控制单元与多通道能量产生单元和点火单元分别相连,稳压单元通过多通道能量产生单元依次接至点火单元...
该专利属于山东东仪光电仪器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东东仪光电仪器有限公司授权不得商用。
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