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一种用于硅基薄膜太阳能电池的新型复合n层薄膜制造技术
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下载一种用于硅基薄膜太阳能电池的新型复合n层薄膜的技术资料
文档序号:8348372
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本发明公开了一种用于硅基薄膜太阳能电池的新型复合n层薄膜,其包括至少一层n型微晶氧化硅层和至少一层n型微晶硅层,其中,n型微晶氧化硅(μc-SiOx:H)材料的折射率范围在1.5-2.5,薄膜总厚度范围在1纳米-150纳米。利用本发明,能够...
该专利属于保定天威薄膜光伏有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过保定天威薄膜光伏有限公司授权不得商用。
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