下载基于IP成像板的透射电镜成像扫描系统及其控制方法的技术资料

文档序号:8347549

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本发明公开了一种基于IP成像板的透射电镜成像扫描系统及其控制方法。本发明的透射电镜成像扫描系统包括:透射电镜及扫描装置;其中,透射电镜中采用IP成像板,透过样品后的电子束曝光在IP成像板上形成影像;扫描装置对已曝光的IP成像板进行影像扫描,...
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