下载磷扩散炉的三氯氧磷排除装置的技术资料

文档序号:8346701

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本发明公开了一种磷扩散炉的三氯氧磷排除装置,包括缓冲箱与抽风管,该缓冲箱包括方形的缓冲箱体,缓冲箱内壁涂覆有特氟龙涂层,缓冲箱体后侧壁上设有炉管开口,缓冲箱体前侧敞口并设有密封门,密封门右侧与缓冲箱体铰接,密封门左侧与缓冲箱体之间设有锁闭结...
该专利属于陈功所有,仅供学习研究参考,未经过陈功授权不得商用。

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