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本实用新型公开了一种保护终点检知探头的石英视窗，所述石英视窗位于发生干法刻蚀的腔体外的腔壁中，所述石英视窗靠近腔体的一端位于腔壁中并与腔体之间留有一段间隙，石英视窗远离腔体的一侧具有一凹槽，终点检知探头的前端位于凹槽中。本实用新型的石英视窗...
该专利属于上海华虹NEC电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华虹NEC电子有限公司授权不得商用。

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