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本发明描述了一种卡盘。所述卡盘可包括多个卡盘爪。每个卡盘爪能够朝卡盘轴线径向移动并远离卡盘轴线径向移动，并且每个卡盘爪包括：与卡盘爪轴线垂直并与卡盘轴线基本平行的两个基本共面的表面；脊部，该脊部位于所述两个基本共面的表面之间；和两个槽，其中...
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