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直拉法单晶炉热场结构制造技术
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下载直拉法单晶炉热场结构的技术资料
文档序号:8336440
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本实用新型涉及一种直拉法单晶炉热场结构,包括:炉体、位于炉体内的坩埚、位于炉体内及坩埚外的保温筒、位于坩埚外及保温筒中部之间的加热器以及位于保温筒内及坩埚之上的导流筒,导流筒包括内导流筒、外导流筒;保温筒包括上保温筒、中保温筒及下保温筒;中...
该专利属于深圳市石金科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市石金科技有限公司授权不得商用。
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