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一种加工微／纳米级结构的装置，包括：由透明耐化学腐蚀材料制做的箱体，其内底面上放有带三维移动导轨的加工操作平台；平台上放置温度控制元件；箱体内放置由电、磁和光场控制器控制的可产生电场的金属板式电极、可产生磁场的永磁体／电磁体阵列和由可移动的...
该专利属于中国科学院理化技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院理化技术研究所授权不得商用。

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