下载一种两端MEMS麦克风的技术资料

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本发明涉及一种两端MEMS麦克风,包括电连接的微电容传感器MEMS、偏置电压供电电路VBAIS和专用集成电路ASIC,偏置电压供电电路VBAIS的电压输入端电连接有供电与信号输出端VDD&VOUT,将现有技术中三端MEMS麦克风的信号输出端...
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