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一种两端MEMS麦克风制造技术
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文档序号:8326286
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本发明涉及一种两端MEMS麦克风,包括电连接的微电容传感器MEMS、偏置电压供电电路VBAIS和专用集成电路ASIC,偏置电压供电电路VBAIS的电压输入端电连接有供电与信号输出端VDD&VOUT,将现有技术中三端MEMS麦克风的信号输出端...
该专利属于山东共达电声股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东共达电声股份有限公司授权不得商用。
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