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文档序号:8325505
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本发明提供了声波器件。一种声波器件包括:基板;形成在所述基板上的下电极;形成在所述下电极上的至少两个压电膜;位于所述至少两个压电膜之间的绝缘膜;以及形成在所述至少两个压电膜上的上电极,其中,在所述下电极和所述上电极彼此面对的区域中,所述至少...
该专利属于太阳诱电株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过太阳诱电株式会社授权不得商用。
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