下载钝化半导体接触表面的功率半导体器件结构及制备方法的技术资料

文档序号:8324790

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本发明涉及一种钝化半导体接触表面的功率半导体器件结构,包括第一导电类型漂移区,第一导电类型漂移区内设有第二导电类型基区,第二导电类型基区内设有第一导电类型发射区,第一导电类型漂移区正面设栅氧化层,栅氧化层上设多晶栅,在第二导电类型基区上设有...
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