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方形螺旋式太赫兹波开关制造技术
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文档序号:8322561
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本发明公开了一种方形螺旋式太赫兹波开关。它包括太赫兹波输入端、太赫兹波输出端、激光输入端、Y形硅波导、第一直硅波导、方形螺旋线形硅波导、第二直硅波导、第三直硅波导、椭圆硅波导、圆弧形硅波导、第四直硅波导;外加激光垂直照射在方形螺旋线形硅波导...
该专利属于中国计量学院所有,仅供学习研究参考,未经过中国计量学院授权不得商用。
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