下载一种基于微机电系统的微透镜的技术资料

文档序号:8322513

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本发明公开了一种基于微机电系统的微透镜,在MEMS微平台的最底端为基座,基座上安装有驱动器,驱动器支撑住镜架,镜架上安装有微透镜,通过驱动器带动镜架移动,进而带动微透镜的移动,实现透镜焦点的变化,所述驱动器由两个驱动臂组成,每个驱动臂由一个...
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