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本发明公开了一种薄膜热流传感器及其制备方法。本发明采用微机械加工技术在基片表面制备耐高温的薄膜热电偶阵列（热电堆），并在薄膜热电偶阵列上设置厚热障层和薄热障层，通过感测厚、薄热障层下的温度差，结合厚、薄热障层的高度差，可以测量出热流。采用这...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十八研究所授权不得商用。

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